簡要描述：vFE-SEM獲得的圖像分辨率高，信息豐富，樣品處理相對簡單，并且它可以觀察、測量并分析樣品的細微結構，因此被廣泛應用于納米技術、半導體、電子器件、生命科學、材料等領域v電子槍種類：冷場發射v二次電子圖象分辨率：0.6nm@15kV

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