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      Canon FPA5000 ES3掃描式光刻機

      簡要描述:CanonFPA5000ES31

      基礎信息

      產品型號

      廠商性質

      代理商

      更新時間

      2024-10-22

      瀏覽次數

      371
      詳細介紹

      Canon FPA5000 ES3

      1.Canon FPA5000 ES3掃描式光刻機

      光源波長248nm

      分辨率優于0.18µm

      主要用于6寸、8寸及12寸生產線

      廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

      2.產品詳情

      主要技術指標

      分辨率0.18µm

      N.A.0.6-0.73

      曝光光源248nm

      倍率4:1

      曝光現場26mm*33mm

      對準精度35nm

      3.更多服務

      提供中英文軟件及6"、 8"、12"設備硅片改造

      常年提供所有備件、耗材




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