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      Nikon EX12B步進式光刻機

      簡要描述:NikonEX12B1

      基礎信息

      產品型號

      廠商性質

      代理商

      更新時間

      2024-10-22

      瀏覽次數

      393
      詳細介紹

      Nikon EX12B

      1.Nikon EX12B步進式光刻機

      光源波長248nm

      分辨率優于0.3µm

      主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產線

      廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

      2.產品詳情

      主要技術指標

      分辨率0.3µm

      N.A.0.55

      曝光光源248nm

      倍率5:1

      曝光現場22mm*22mm

      對準精度

      LSA:55nm

      FIA:65nm

      3.更多服務

      提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設備硅片改造

      常年提供所有備件、耗材



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