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      Nikon S207D掃描式光刻機

      簡要描述:NikonS207D1

      基礎(chǔ)信息

      產(chǎn)品型號

      廠商性質(zhì)

      代理商

      更新時間

      2024-10-22

      瀏覽次數(shù)

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      詳細介紹

      Nikon S207D

      1.Nikon S207D掃描式光刻機

      光源波長248nm

      分辨率優(yōu)于0.11µm

      主要用于8寸及12寸生產(chǎn)線

      廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域

      2.產(chǎn)品詳情

      主要技術(shù)指標

      分辨率0.11µm

      N.A.0.82

      曝光光源248nm

      倍率4:1

      曝光現(xiàn)場26mm*33mm

      對準精度20nm

      3.更多服務(wù)

      提供中英文軟件及8"、12"設(shè)備硅片改造

      常年提供所有備件、耗材



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