簡要描述：v樣品尺寸:400mmx400mmv最小樣品尺寸:0.5mmx0.5mmv在2秒內(nèi)獲得140萬個數(shù)據(jù)點vWarpage分辨率v每秒加熱3.5oC攝氏度v紅外線加熱和對流冷卻來控制溫度v高分辨率測量小型樣品vXY軸應(yīng)變STRAIN和熱膨脹系數(shù)CTE計算v支持從室溫到300oC以下的回流爐溫度模擬

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