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      步進式Stepper光刻機

      簡要描述:

      基礎信息

      產品型號

      廠商性質

      代理商

      更新時間

      2024-10-22

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      詳細介紹

      v 解像力:350nm

      v 投影倍率:1:5

      v 市場尺寸:20mm*20mm(5inch)/ 22mm*22mm(6inch)

      v 光源:i-Line 365nm

      v 掩膜版尺寸:5inch/6inch(可選)

      v 晶圓尺寸:50mm2inch/75mm3inch/100mm4inch/150mm6inch/200mm8inch)(可選)

      v 套刻精度:40nm

      v 設備尺寸:(W1900*D2600*H2450mm


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