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      Nikon NSR 2005i10C步進式光刻機

      簡要描述:NikonNSR2005i10C1

      基礎信息

      產品型號

      廠商性質

      代理商

      更新時間

      2024-10-22

      瀏覽次數

      375
      詳細介紹

      Nikon NSR 2005i10C

      1.Nikon NSR 2005i10C步進式光刻機

      光源波長365nm

      分辨率優于0.45µm

      主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產線

      廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

      2.產品詳情

      主要技術指標

      分辨率0.45µm

      N.A.0.57

      曝光光源365nm

      倍率5:1

      曝光現場20mm*20mm

      對準精度

      LSA:100nm

      FIA:110nm



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