Nikon NSR 2205i11D步進式光刻機

簡要描述：NikonNSR2205i11D1

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號

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更新時間

2024-10-22

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詳細介紹

Nikon NSR 2205i11D

1.Nikon NSR 2205i11D步進式光刻機

光源波長365nm

分辨率優(yōu)于0.4µm

主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術(shù)指標(biāo)

分辨率0.4µm

N.A.0.63

曝光光源365nm

倍率5:1

曝光現(xiàn)場22mm*22mm

對準(zhǔn)精度

LSA：75nm

FIA：80nm

3.更多服務(wù)

提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設(shè)備硅片改造。

常年提供所有備件、耗材。

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